金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电设备”的专-利，公开号 CN 119176519 A，申请日期为2024年6月机电设备 。
专-利摘要显示，一种用于电容式流体压力测量的微机电设备（1），所述微机电设备具有第一电极（2）和形成配对电极的第二电极（3），所述设备（1）具有空腔（6），所述空腔在第一限界层（5a）与第二限界层（5b）或者衬底（4）之间形成，所述第一电极（2）布置在并且以能运动的方式支承在所述空腔中，能够通过流体压力（p）使所述第一限界层（5a）和/或所述第二限界层（5b）偏移，所述第一限界层（5a）和/或所述第二限界层（5b）通过第一耦合元件（7a）与所述第一电极（2）耦合，用于将偏移运动传递到以能运动的方式受支承的第一电极（2）上机电设备 。本发明还涉及一种微机电压力传感器、一种微机电麦克风和一种微机电组合式传感器元件。
来源：金融界